ㅇ 물품개요 - Micro wave, RF Bias, O² Gas를 사용하여 etching의 공정을 거친 웨이퍼에 남아 있는 불순물이나 잔여물 혹은 Photo Resist를 제거하는 데 사용되는 장비임 - Load-port를 통해 5~25장이 탑재된 기판이 한 장씩 삽입되어 기판 반송기구인 Robot으로 Pr...
결정이유
ㅇ 관세율표 제84류의 주 제9호 라목에 '제16부의 주 제1호와 제84류의 주 제1호의 규정에 따라 적용될 호가 정하여지는 경우를 제외하고, 제8486호의 표현을 만족하는 기계는 이 표의 다른 호로 분류하지 않으며, 제8486호로 분류한다.'고 규정함 ㅇ 관세율표 제8486호에는 '반도체 보올(boule)이...
