품목분류사례
Machines and apparatus for the manufacture of wafers; CLEANING MACHINE; 300MM EPI CLEANER; JAPAN
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물품설명
ㅇ 물품개요 - 웨이퍼 제조공정에서 웨이퍼 표면을 Polishing한 후 붙어있는 오염 입자들을 습식세정법으로 제거하는 장비로서, 오염물을 제거하는 Chemical Bath 4개, 화학물질을 제거하는 Rinse Bath 8개, 세정이 완료된 웨이퍼를 건조시키는 Dry Bath 4개 등으로 구성됨 ㅇ 구성요소 ...