품목분류사례
Articles of other mineral substances ; SILICON ELECTRODE ; R.KOREA
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물품설명
ㅇ 물품개요 반도체 제조장비 중 플라즈마 건식식각 장비 챔버 내부 상단에 장착되는 물품 ㅇ 물품의 형태 및 기능 직경 325mm, 높이 10mm의 원형의 물품으로 직경 0.5mm 이하의 미세홀(구멍)이 수백∼수천개 천공되어 있음 성분 : SI(규소) 99.999999% 기능 : 챔버 내의 반응성 Gas를 균...