Semi-automatic Screen and Stencil Printer(신청품명 : 솔라셀 평가용 인쇄기) ; X5-STS ; Germany

ㅇ 기능 및 용도 1) 기능 - EVA Vision 시스템 장착으로 웨이퍼의 edge 및 align 마크 인식 기능을 수행 - Vision 시스템을 이용하여 자유롭게 카메라 위치를 프램그램화 시켜 사용 - 매뉴얼 사용 기능, Auto align 기능 - 웨이퍼 로딩시 매뉴얼 및 auto loading 기능 - 프린팅 모드를 다양하게 사용 가능 2) 용도 - 태양광전지용 실리콘 웨이퍼의 전ㆍ후면에 금속전극인 페이스트(은 85%, 기타 15%)를 스크린 프린터방식으로 인쇄하는 기계 ※ 스크린프린터 : 스크린마스크 위에 Paste를 놓고 스퀴지로 문지르며 웨이퍼 표면에 금속패턴을 형성함 ㅇ 물품형태 1. Wafer loading부 : 실리콘 웨이퍼를 자동 또는 매뉴얼로 웨이퍼 로딩부에 장착시키는 기능 2. Graphical user interface : 사용자가 PC 모니터 상에 프린팅 하기위한 필요한 모든 정보(웨이퍼 정보, 스퀴즈 압력, 스퀴즈 속도, 프린팅 압력, 방법 등)를 입력하여 편리하게 사용 및 관리 기능 3. 스퀴즈 헤드 : 웨이퍼에 프린팅 하기위해 일정한 압력을 사용하여 페이스트를 스크린 제판 형상과 동일하게 코팅 해 주기위한 기능 4. Align용 CCD 카메라 : 스크린 제판 형상과 동일하게 웨이퍼에 코팅을 하기위해서는 웨이퍼와 스크린 제판 정렬이 필요한데 이 정렬을 정확하게 하기 위한 기능 수행 5. 스크린 제판 : 웨이퍼 표면에 일정한 형상(생성된 전기 이동 경로)을 코팅하기 위해서는 스텐실 기법을 이용하여 코팅을 하게 되는데 이러한 코팅을 하기 위한 패턴 마스크용 제판 ㅇ 작동원리 - 사용하고자하는 웨이퍼를 웨이퍼 로딩부에 매뉴얼로 로딩 - 웨이퍼가 로딩되면 웨이퍼 로딩부는 프린팅하기 위한 로딩부(설비 중앙부)로 이동 - 프린팅 로딩부로 이동한 웨이퍼는 제판과 웨이퍼 중간에 위치한 align용 CCD 카메라에 의해 align - Align된 웨이퍼는 제판 형상과 동일한 패턴으로 스퀴즈의 일정한 속도와 압력으로 인해 인쇄되며, 이때 페이스트는 웨이퍼 표면에 제판 형상과 동일한 형상으로 인쇄 - 인쇄가 끝난 웨이퍼는 웨이퍼 로딩부로 이동 - 인쇄가 끝난 웨이퍼를 다음 공정인 dry공정으로 이동시킴 - 이 모든 과정은 graphical user interface에 입력하여 사용