품목분류사례
Semiconductor manufacturing part ; SIP LOWER SHILD for wafer PVD chamber
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이미지 준비중물품설명
옆 면에 36개의 홀이 천공된 원통형으로 wafer PVD chamber 내부에 조립되어 증착공정 중 wafer를 제외한 chamber 내부 오염을 방지하는 역할
결정이유
- 관세율표 제8486호 에는“반도체 보울(boule)이나 웨이퍼(wafer)·반도체디바이스·전자집적회로·평판디스플레이의 제조에 전용되거나 주로 사용되는 기계와 기기, 이 류의 주 제9호 다목에서 특정한 기계와 기기, 그 부분품과 부속품”이 분류됨 - 동 호 해설서에서“.... 반도체 디바이스 또는 전자집적회로를 제조하기 위한 기계 및 기기가 분류된다. 예를 들면, (1) 막 형성 장비 : 이 장비는 웨이퍼 가공 공정에서 웨이퍼 표면에 여러 가지 막을 형성한다. .... (c) 물리기상증착(PVD) 장비 : 어떠한 고체를 기화시킴으로써 얻어지는 다양한 형태의 막을 증착시킨다. .... 부분품의 분류에 관한 일반규정(제16부 총설 참조)에 의하여, 이 호에는 이 호에 분류되는 기계 및 기기의 부분품과 부속품을 포함한다.”라고 설명하고 있음 - 본 품은 wafer PVD chamber 내부에 조립되어 증착공정 중 wafer를 제외한 chamber 내부 오염을 방지해 주는 물품으로“반도체웨이퍼상에 금속을 증착하는 기계에 전용 또는 주로 사용되는 부분품”으로 보아 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 의거 제8486.90-2010호에 분류함