parts of Resistance heated furnaces and ovens ; FAN FILTER UNIT, FU-INSDF-L-K-FE-1B ; R.KOREA
결정기관
관세평가분류원
문서번호
0072015000074
이미지
물품설명
o 물품개요 - 반도체 웨이퍼의 산화공정 등에 사용되는 열처리 성막장치(TELFORMULA)의 하우징에 결합되는 도어부 물품임 - TELFORMULA장치 내에서 웨이퍼 표면을 급속 산화, Ulatra-thin 게이트 절연막 형성(산화, 질화)등을 끝낸 가열된 웨이퍼를 본 물품이 팬모터 구동에 의해 장치내 뜨거...
결정이유
o 본 물품은 반도체 웨이퍼 산화공정 등에 사용되는 열 처리 성막장치(TELFORMULA)의 하우징에 결합되는 도어부 물품으로 TELFORMULA장치 내에서 웨이퍼 표면 급속 산화, Ulatra-thin 게이트 절연막 형성(산화, 질화)등이 끝난 상태에서 웨이퍼를 서서히 식혀주기 위하여 본 물품이 팬모터 구동...
