Articles of silicon carbide; Out Cover; KK4572; U.S.A

반도체용 유기금속화학기상증착장비(MOCVD)장비 내에서 가공될 Wafer를 보호하며 발열체 역할을 하는 탄화규소(SiC, 99%이상) 재질의 은행잎 모양의 소모성 물품 - 제조공정 ·(1차 공정) SiC 원판 생성(기상합성법의 증착에 의함) 고온(1,300℃~1,400℃)ㆍ고압(200torr) 상태에서 160...