품목분류사례

Articles of silicon carbide; inner cover; KK-4573; U.S.A

품목번호	6815.99-0000
구분	품목분류사례 품목분류2과-38 (시행일자: 2014-01-03)
품명	Articles of silicon carbide; inner cover; KK-4573; U.S.A
결정기관	관세평가분류원
문서번호	0072014000009

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물품설명

반도체용 유기금속화학기상증착장비(MOCVD)장비 내에서 가공될 Wafer를 보호하며 발열체 역할을 하는 탄화규소(SiC, 99%이상) 재질의 부채꼴 모양의 소모성 물품 - 제조공정 ·(1차 공정) SiC 원판 생성(기상합성법의 증착에 의함) 고온(1,300℃~1,400℃)ㆍ고압(200torr) 상태에서 160...

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