품목분류사례
태양전지셀 제조(PN접합 및 PSG 제거)용 장비 ; InOxSide NIAK Release 11 (모델 ; #140096(13856)) ; 독일
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물품설명
ㅇ 물품 개요 - 태양전지셀 제조공정에서 태양전지 웨이퍼의 표면조직화(texturing) 및 PN 접합(확산공정)이 끝난 상태에서 웨이퍼 표면의 산화막(PAS - Phospho Silicate Glass)을 제거함과 더불어 웨이퍼에 형성된 P층과 N층을 전기적으로 분리(junction isolation)하는 ...