Machines, for the manufacture of flat panel displays; 상압플라즈마 표면개질장치; Precise500cc; JAPAN
결정기관
관세평가분류원
문서번호
0072015003461
이미지
물품설명
평판디스플레이 제조공정 중 기판의 불순물을 세정하기 위한 장비로, 세정이 이루어지는 처리리엑터 유닛과 공정제어, 전원공급, 반응가스유량조절, 냉각수 공급 등을 수행하는 제어유닛으로 구성됨 ㅇ 작동원리 및 방식 상압플라즈마 방전을 이용한 세정장치로서 배기관을 통해 반응가스가 내부로 투입되고, 전기적 에너지를 가...
결정이유
ㅇ 관세율표 제16부 주 제4호에서는 “하나의 기계(여러 종류의 기계가 조합된 것을 포함한다)가 각종 개별기기로 구성되어 있는 경우에도(따로 분리되어 있는지 또는 배관·전동장치·전력케이블이나 그 밖의 장치로 상호 연결되어 있는지에 상관없다) 이들이 제84류나 제85류 중의 어느 호에 명백하게 규정된 기능을 함...
