위원회결정사항
ㅇ Diffusion ; E2000 HT 300-5 ; Germany
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이미지 준비중물품설명
ㅇ 태양전지 제조용 p형 실리콘 웨이퍼에 n형 원소를 확산(diffusion)시켜 p-n 접합(junction)을 형성하는 장비로, 석영 로(약 2m) 내부 Heating Zone에 설치된 적외선 방전램프로 액체가스인 PoCl3를 약 850°의 온도로 기화시켜 불순물을 확산시키는 장비로 가공대상 웨이퍼 사이즈...
결정이유
ㅇ 본 기기는 태양전지 제조용 p형 실리콘 웨이퍼에 n형 원소를 diffusion시켜 p-n junction을 형성하는 장비로, 석영 로(약 2m) 내부 Heating Zone에 설치된 적외선 방전램프로 액체가스인 PoCl3를 약 850°C로 기화시켜 불순물을 확산함 ㅇ 제84류주제9(가)에서 제8486호의“...