품목분류사례
Other article of fused quartz ; TEL QUARTZ RING INSULATOR A7(SE-014826) ; R.KOREA
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물품설명
ㅇ 물품의 개요 - 반도체 건식 플라즈마 식각공정에 사용되는 하부챔버에 장착되어 플라즈마환경에서 챔버의 내벽을 보호하는 역할을 하는 물품 ㅇ 물품의 형태 및 재질, 제조공정 - 지름 280㎜의 링형상의 물품 - 재질 : 석영(99.99%) - 제조공정 : CNC 1차가공(내/외경, 단부) → 중간세정 → CN...