품목분류사례

Part of Dry plasma etching equipment ; SILICON FOCUS RING(FOR CERAMIC ESC) (WHITE BOX W/O DS STICKER) ; R.KOREA

품목번호	8486.90-2010
구분	품목분류사례 품목분류2과-6964 (시행일자: 2015-09-04)
품명	Part of Dry plasma etching equipment ; SILICON FOCUS RING(FOR CERAMIC ESC) (WHITE BOX W/O DS STICKER) ; R.KOREA
결정기관	관세평가분류원
문서번호	0072015004504

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물품설명

외경 260mm, 내경 196.4mm, 두께3.4mm 크기의 실리콘 링으로 외경부에 2개의 홈이 있어 장치 내부에 장착할 수 있도록 되어 있으며, 내경부에 200mm웨이퍼를 놓을 수 있게 홈가공 되어 있음(순도: Si 99.9999%) - 용 도 : 건식 플라즈마 식각 장비에 장착하여 웨이퍼 식각공정을 진행함...

Part of Dry plasma etching equipment ; SILICON FOCUS RING(FOR CERAMIC ESC) (WHITE BOX W/O DS STICKER) ; R.KOREA

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