품목분류사례
Parts of machines and apparatus for making semiconductor devices ; SPIN CHUCK STANDARD(6AJB008501 CHUCK-2 ETEF-CB PIN) ; JAPAN
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물품설명
ㅇ 물품의 개요 - 반도체 웨이퍼 세척장비에서 웨이퍼 세척 시 웨이퍼를 고정하기 위한 물품 ㅇ 물품의 형태 - 지름 약 33.5㎝, 두께 약5.3㎝의 원형형상 - 세정장비에의 고정을 위해 가운데 홀 가공이 되어 있으며, 웨이퍼 고정을 위한 6개의 CHUCK PIN이 설치되어 있음 - 재질 : PTFE, SUS
