품목분류사례
Part of Dry plasma etching equipment; CATHODE; 839-443215-502; R.KOREA
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물품설명
ㅇ 개요 반응성 이온 식각(RIE)장비에서 전극을 형성하는 기기로 가장자리부터 Graphite, Silicon으로 구성된 원판상의 물픔임 ㅇ 용도 및 기능 반응성 이온 식각(RIE)장비는 챔버내에 GAS를 넣고 양 전극에 고주파를 가하면 플라즈마가 생성되며 이것을 이용하여 웨이퍼를 식각 하는데, - 신청 물품...
