품목분류사례
Parts of Apparatus for Wet etching equipment ; HEATER(NPS HEATER RHP300)
이미지
물품설명
반도체 제조공정 장비 중 반도체 웨이퍼를 식각하는 장비(습식식각 장비,(장비명:VENUS) 내에 설치되어 고온 인산식각을 위해 163도 이상의 질화물 식각과정에서 온도 균일도를 향상 시키기 위한 기능의 열처리용 Heater Lamp 모듈임 o 구성요소 및 기능 ① Lamp : Heater Housing에 84...