품목분류사례
PLANARCORE PVA BRUSH ; PZP1ARXR1, PVS1ARXR1 ;
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이미지 준비중물품설명
- 물품개요 · Post CMP clean chamber에 장착되는 PVA 재질의 원통형 브러쉬로서 스폰지 재질의 표면에는 돌기가 있고, 내부에는 코어가 일체로 부착되어 있어 세정장비에 끼워질 수 있음 - 기능 및 용도 · 신청물품이 회전하면서 웨이퍼 표면에 직접 접촉하여 남아있는 불필요 입자를 제거해줌
결정이유
- 본 품은 반도체 제조용 장비 중 세척기계에 장착되어 웨이퍼 표면에 있는 불순물과 화학물질 등을 제거하기 위한 PVA 재질의 것으로서, - 관세율표 제16부 주 제1호 하목 규정에 따라 제16부에서 제외되는 “기계의 부분품으로 사용되는 브러쉬(제9603호)”와 유사한 세척을 위한 물품이므로, 관세율표 제16...