품목분류사례
Parts of machines and apparatus for making semiconductor devices; SHIELD-RF-HOLD BOLT COOL(1046-154-01); R.KOREA
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물품설명
플라즈마 발생기로부터 electrode까지 RF power를 전달하는 rod를 감싸외부에 전기장이 나가지 않도록 방지하는 물품으로 쿨링을 위한 홀가공된 원통에 상단은 flange, 하부는 bolt로 결합하도록 가공됨 - 규격 : (상단) 55mm, (하단) 62mm, (길이) 165mm, (중량) 0.2kg ...