Parts of machines and apparatus for making semiconductor devices; SUSCEPTOR(1067-227-01, SUSCEPTOR-302/GSO/RA2); R.KOREA
결정기관
관세평가분류원
문서번호
0072015006562
이미지
물품설명
본품은 반도체 제조공정중 웨이퍼 위에 균일한 산화막을 형성하는 플라즈마 원자층 증착장비의 부분품으로 웨이퍼를 올려놓는 플레이트로서 본품의 상부는 웨이퍼가 안착될 수 있도록 Pocket(단가공)이 형성되어 있고, 하부에는 웨이퍼의 온도를 조절할 수 있는 서셉터 히터와 조립되도록 설계됨 - 재질 : 알루미늄 - ...
결정이유
ㅇ관세율표해설서 제16부 제2호 나목에서“기계의 부분품으로서 특정한 기계 또는 동일한 호에 분류되는 여러 종류의 기계(제8479호 또는 제8543호의 기계를 포함한다)에 전용 또는 주로 사용되는 부분품은 그 기계가 속하는 호에 분류한다.”라고 규정하고 있음 ㅇ관세율표 제8486호는“반도체 보울 또는 웨이퍼·반...