Parts of machines and apparatus for making semiconductor devices; REACTOR WALL(1066-610-01, REACTOR WALL/LT/RA2); R.KOREA
결정기관
관세평가분류원
문서번호
0072015006566
이미지
물품설명
본품은 반도체 제조공정중 웨이퍼 위에 균일한 산화막을 형성하는 플라즈마 원자층 증착장비의 부분품으로 증착공정중 반응을 위한 온도 조절, Distributor 및 Electrode 고정, 내부로 유입되는 Gas Path를 구성하는 원통형의 소형 챔버(Chamber)임 - 재질 : 알루미늄 - 규격 : 외경(39...
결정이유
ㅇ관세율표해설서 제16부 제2호 나목에서“기계의 부분품으로서 특정한 기계 또는 동일한 호에 분류되는 여러 종류의 기계(제8479호 또는 제8543호의 기계를 포함한다)에 전용 또는 주로 사용되는 부분품은 그 기계가 속하는 호에 분류한다.”라고 규정하고 있음 ㅇ관세율표 제8486호는“반도체 보울 또는 웨이퍼·반...