Parts of machines and apparatus for making semiconductor devices; FLANGE(2101-047012C, MH-RPU-RE-FLANGE-AL-2); R.KOREA
결정기관
관세평가분류원
문서번호
0072015006507
이미지
물품설명
본품은 반도체 제조공정중 웨이퍼 위에 균일한 산화막을 형성하는 플라즈마 원자층 증착장비의 부분품으로 Flange 형상을 가지며, 반도체 웨이퍼의 ALD(원자층 증착)공정이 이루어지는 반응기 Chamber의 Top Lid 상부에 장착되고, 웨이퍼 표면에 흡착되는 반응성 기체 및 불활성 기체 등의 가스를 운반하는...
결정이유
ㅇ관세율표해설서 제16부 제2호 나목에서“기계의 부분품으로서 특정한 기계 또는 동일한 호에 분류되는 여러 종류의 기계(제8479호 또는 제8543호의 기계를 포함한다)에 전용 또는 주로 사용되는 부분품은 그 기계가 속하는 호에 분류한다.”라고 규정하고 있음 ㅇ관세율표 제8486호는“반도체 보울 또는 웨이퍼·반...