품목분류사례
CHUCK SYSTEM, ERS AC3 300mm Chuck system for UF3000EX, AC3 300mm
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물품설명
반도체 웨이퍼를 테스트하기 위하여 사용되는 웨이퍼 운송장치인 Prober Station를 구성하는 물품중 신청물품은 ①ERS Chuck, ②ERS Controller, ③ERS Chiller로 각각 분리되어 제시됨 ① ERS Chuck : 니켈재질의 둥근원형판상으로 표면에 원형으로 된 진공 홈 (vacuum ...
