○ 물품개요 반도체 및 LCD 공정에서 Plasma를 이용하여 식각* 공정을 하는 Etch장비의 식각 종료 시점을 결정하여 종료시점을 식각기(etcher)에 전달해 주는 장비 - 용도 : 식각기의 진공 챔버 내의 플라즈마에서 발생하는 광을 광학방사 분광법 (OES : Optical Emission Spectr...
결정이유
ㅇ 신청물품은 반도체 전공정과 LCD 제조공정 중 식각공정에서 원하는 유기 박막을 제거하는 공정에 사용되는 물품으로 식각기의 진공 챔버내의 플라즈마 에서 발생하는 광을 광학방사 분광법 (OES : Optical Emission Spectroscopy)의 원리를 이용하여 챔버 내의 플라즈마에서 방출되는 광을 분...
