품목분류사례
Wafer Inspection System ; OPTISTATION-3000(OST-3000) ;; JP
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물품설명
1) 물품 개요 - 동일 프레임에 현미경, Robot Arm, load port, macro unit이 장착된 물품 2) 기능 및 용도 - 반도체 웨이퍼의 불량 패턴 및 표면의 이물질 검사 3) 물품사진 4) 작동원리 - Load Port에 Wafer가 들어있는 카세트 장착 → Robot Unit이 Wafer...