- 반도체 제조 장비인 RTP* 챔버의 상부에 위치한 램프 헤드에 설치되며 열을 발생시켜 웨이퍼 공정에 필요한 챔버 내부 온도 조절에 사용되는 자외선램프로 빛에너지를 열에너지로 변환시켜 실리콘 웨이퍼의 전체 온도를 일정하게 유지시킴 * RTP(Rapid Thermal Process) : 램프가열처리를 사용하는...
결정이유
○ 관세율표 해설서 제16부 주2호 가목에 “제84류 또는 제85류 중 어느 특정한 호(제8409호·제8431호·제8448호·제8466호·제8473호·제8487호·제8503호·제8522호·제8529호·제8538호 또는 제8548호를 제외한다)에 포함되는 물품인 부분품은 각 해당 호에 분류한다”고 규정하고 있어...
