- 반도체 생산라인에서 사용되었던 부품들을 다시 사용하기 위해서 세정 된 부품들을 건조시키는데 사용하는 기기로서 - 챔임버 내부를 진공상태로 하고 히터를 동작시켜 일정한 온도로 상승 및 유지시키고 질소를 투입하여 진공상태를 감압 및 온도를 하강시켜 수분 등을 증발시킴(온도 0~150℃)
결정이유
ㅇ 본 물품은 전기적으로 열을 얻는 기기로서 “공업용 또는 이화학용의 전기식 노와 오븐”이 분류되는 제8514호를 검토해 보면 - 제8514호 해설서에 “그 내부에서 비교적 고온이 얻어지는 것이다.”라고 설명되어 있고 “이 호에는 건조, 살균 기타 이와 유사한 작용을 하는 전기식 가열기기를 제외한다(제8419...
