○ SEM(주사전자현미경)으로 웨이퍼를 관찰하면서 FIB으로 Milling, Cutting 등의 작업을 수행하여 불량 분석용 시료제작 하는 기능과 절단된 시료를 관찰하여 불량을 분석함 ○ 작동원리 ① 시료를 작업자가 Loadlock에 장착하면 Chamber로 이동 ② Chamber에서 Ion Beam과 Ele...
결정이유
○ 관세율표 해설서 제90류 주 제3호에 “재16부의 주 제3호와 제4호는 이 류에도 적용한다”고 규정함 - 본 물품은 FIB(Ion Beam)와 SEM(Electron Beam)이 결합된 복합기계로 반도체 웨이퍼의 불량 분석에 목적이 있으므로 고배율의 이미지를 관찰할 수 있는 SEM에 주된 기능이 있음 ○ ...
