품목분류사례
- 품명 : scoutDX System Metal Impurity Measurement - 모델 : SDX-MIM
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물품설명
- 물품개요 ㆍ 반도체 제조공정에 사용되는 화학약품을 일정시간마다 채취하고, 유도결합 플라스마 질량분석기(ICP-MS)*를 통해 성분을 분석함으로써 실시간으로 약품 내 메탈 오염도를 알아보고 데이터화하는 장치로, ㆍ scoutDX remote sampling module과 scoutDX-Q Central Un...