Hatch Shield Reactive; Hatch Shield Reactive (P/N : 1037-53108); 상단 외경 96.5㎜, 내경 90.5㎜ / 하단 외경 500㎜, 내경 494㎜;

- 개요 : 본 물품은 반도체 제조용 스퍼터링 장비인 FC7100 장비 내 Wafer PVD Chamber의 Lid 측에 장착되어 물리증착 공정 중에 Target의 금속 입자가 Wafer 이외의 Chamber 내부에 증착되는 것을 막아주는 역할을 함 - 용도 : 적절히 차폐된 공간을 형성시켜 Chamber 내...

- 관세율표 제8486호에는 “반도체 보울(boule)이나 웨이퍼(wafer)ㆍ반도체디바이스ㆍ전자집적회로ㆍ평판디스플레이의 제조에 전용되거나 주로 사용되는 기계와 기기, 이 류의 주 제11호 다목에서 특정한 기계와 기기, 그 부분품과 부속품”이 분류되고, ․같은 호 해설서에 “(B) 반도체디바이스나 전자집적회로...