품목분류사례
SPIN CHUCK WITH SENSOR FOR WET CLEANING SYSTEM ; 6AL59214
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물품설명
ㅇ 반도체 제조기계 중 웨이퍼 세척장비(SU-3200)에 장착되어 웨이퍼 세척 시 웨이퍼를 고정하기 위한 물품으로, 장비와 장착을 위해 가운데 홀 가공이 되어 있고 웨이퍼를 고정시키기 위해 6개의 Chuck Pin이 설치되어 있으며 Chuck Pin의 위치 등을 감지하기 위해 2개의 마그넷 센서가 조립됨 - ...