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Machine tools for working any material by removal of material ; Plasma Reactive ION Etching System(RIE-10NR) ; JAPAN

품목번호8456.40-0000
구분품목분류사례
품목분류4과-1656 (시행일자: 2020-03-31)
품명Machine tools for working any material by removal of material ; Plasma Reactive ION Etching System(RIE-10NR) ; JAPAN
결정기관관세평가분류원
문서번호0072020000222

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품목분류4과-1656-1Machine tools for working any material by removal of material ; Plasma Reactive ION Etching System(RIE-10NR) ; JAPAN 이미지 2

물품설명

진공 상태의 Chamber 내에 Process Gas를 흘리고 RF Power를 통해 플라즈마를 생성시켜 불량 Wafer(Chip) 표면의 Film층을 식각하는 Dry Ethcing 장비 - 용도 : 불량 웨이퍼를 본 품에 투입해 표면층을 layer별로 제거하는 장비로서, 본 품을 통해 layer 층을 제거한...

결정이유

ㅇ 관세율표 제8456호에는 “각종 재료의 가공 공작기계[레이저나 그 밖의 광선·광자빔·초음파·방전·전기화학·전자빔·이온빔·플라즈마아크 방식으로 재료의 일부를 제거하여 가공하는 것으로 한정한다]와 워터제트 절단기”가 분류되며, 소호 제8456.40호에는 “플라즈마아크(plasma arc) 방식으로 하는 것”이...

등록정보

2020-03-31

출처

관세청 CLIP 품목분류사례 원본 보기 · 문서번호 0072020000222
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