ATM DOOR, SLOT VALVE, SMC-L,AL/ZALAK 5100_173864; 173864

- (개요) 반도체 이송장비인 EFEM1)과 VTM2) 사이에 설치되는 LOAD LOCK3)에 조립되는 ATM Door로 SLOT VALVE(미제시)의 작동으로 도어가 개폐되어 LOAD LOCK 내부가 진공 및 대기 차단하여 진공압력이 유지 될 수 있게 막아주는 물품 1) EFEM(Equipment Front...

ㅇ 관세율표 제16부 제2호 나목에서 “그 밖의 부분품으로서 특정한 기계나 동일한 호로 분류되는 여러 종류의 기계(제8479호나 제8543호의 기계를 포함한다)에 전용되거나 주로 사용되는 부분품은 그 기계가 속하는 호로 분류한다.”라고 규정하고 있음 ㅇ 관세율표 제8486호에는 “반도체 보울(boule)이나 ...