839-119690-015; PL,HTR,ATC,OUTER;

ㅇ 물품개요 - 반도체제조장비 중 플라즈마를 이용하여 웨이퍼를 식각하는 장비 chamber 상단부에 장착되는 Inner Heater plate로 가스를 분사하는 GDP(Gas Distribution Plate)를 사이에 두고 Inner Electrode에 열을 전달하여 공정 온도를 정밀하게 제어함으로써 식각 ...

ㅇ 관세율표 제16부 주 제2호의 나목에서는 “특정한 기계나 동일한 호로 분류되는 여러 종류의 기계(제8479호나 제8543호의 기계를 포함한다)에 전용되거나 주로 사용되는 부분품은 그 기계가 속하는 호 분류한다.”라고 규정하고 있음. ㅇ 관세율표 제8486호에는 “반도체 보울(boule)이나 웨이퍼(wafe...