품목분류사례
BATCH PLASMA CLEANING SYSTEM; MJ24-007; IN;
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물품설명
ㅇ 반도체 노광공정에 사용되는 EUV 펠리클*의 제조 공정에 사용되는 장비로 플라즈마를 생성하여 EUV 멤브레인(막) 지지체의 표면을 세정하는 기계 * 포토마스크를 미세한 오염 입자로부터 보호하는 얇은 보호막으로 EUV광을 투과시키는 멤브레인, 멤브레인을 지지하는 지지체 보더, 프레임으로 구성 ㅇ 진공펌프를 ...
결정이유
ㅇ 본 물품은 EUV 펠리클 제조공정에 사용되는 장비로 관세율표 제8486.40호에 해당하는 마스크 제조용 장비로 보기 어려움 ㅇ 관세율표 제8543호에 “기타의 전기기기(이 류의 다른 곳에 열거되지 아니하거나 포함되지 아니한 것으로서 고유의 기능을 가진 것에 한한다)”가 분류되고 - 같은 호 해설서에서 “이...
