VERTICAL LP CVD SYSTEM(수직 저압 화학 기상 증착 시스템); DJ-1256VN-DF; JAPAN
결정기관
관세평가분류원
문서번호
0072017002738
이미지
물품설명
ㅇ 반도체 웨이퍼 제조공정 중 실리콘 웨이퍼 표면에 각종 GAS 및 압력, 온도 등에 의한 화학적 작용을 통하여 절연막(Si3N4막; 실리콘 질화막)을 형성하는 사용되는 장비
결정이유
ㅇ 관세율표 제8486호에는 “전자집적회로의 제조에 전용 또는 주로 사용되는 기계”가 분류되고, 소호 제8486.20호에 “반도체디바이스나 전자집적회로 제조용 기계와 기기“가 세분류되고 있음 - 같은 호 해설서에는 “이 그룹에는 반도체 디바이스 또는 전자집적회로를 제조하기 위한 기계 및 기기가 분류된다. 예를...
