품목분류사례
CHEMICAL CIRCULATOR;NES-3123-7;NES-3123-7
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물품설명
ㅇ 물품개요 - 반도체 제조 공정 내 습식(Wet) 공정에서 사용되는 화학 용액의 온도 안정화를 위한 유체 순환 장치로써 반도체 제조 장비에서 화학약품(세정약품, 슬러리, 에천트 등)의 온도를 직접 정밀 제어 - 반도체 장비의 내부, 외부 인클로저, 하단부 또는 측면에 장착되고 장비 내 Chemical Tan...
결정이유
자체결정(갑론) ㅇ 본 물품은 반도체 습식공정 장비 내부에 통합되어 펠티어 효과에 의한 열전소자 방식으로 화학 용액을 냉각 및 가열하여 일정한 온도로 유지하면서 반도체 장비에 화학용액을 공급하고 순환시키는 물품임. ㅇ 참석 화주는 본 물품은 전용 Controller와 세트로만 작동하고 ±0.1℃ 초정밀 온도 ...