품목분류사례
Part of plastic for use in machinery and mechenical appliance; SI 패드(LOWER SI PAD V3)
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물품설명
실리콘 고무로 만든 곡면의 스트립상 물품(3ea, 1set)으로 수개의 구멍이 천공되어 있음〔제시 규격; 외경 163.7mm, 내경 152.5mm, 두께 1mm〕 - 기능 및 용도 : 반도체 플라즈마 건식식각 장비 챔버 하단부의 AL RING과 ESC(정전척) 사이에 장착하여 FOCUS RING 냉각 등의 기...