ㅇ 물품개요 - 캐비넷 타입의 랙(rack) 유닛에 각종 모듈(Control unit, Feed gas unit, GRF 오존발생기)이 장착되어 있는 형태 ㅇ 작동원리 - 무성방전법(전극 사이에 유리나 세라믹같은 유전체를 끼우고 공기나 잔소를 불어넣고 전극에 고압(6~15 KV)을 가하면 방전공간에서 오존이 ...
결정이유
ㅇ 본건 물품은 반도체 웨이퍼 세정장비의 세정력을 높이기 위하여 사용되는 오존을 생성하는 기기임 ㅇ 관세율표 제8486호에는 반도체 디바이스 등의 제조용 기계가 분류되나, 이 호의 목적상 반도체 보울 또는 디바이스의 제조용의 기계라 함은 반도체 재료를 기반으로 잉곳 또는 웨이퍼를 제조(단결성 성장 및 웨이퍼 ...