SHUTTER UNIT (FPA-5510IZ 장비용); Y60-2243-000

- (개요) 반도체용 노광장비인 FPA-5510IZ 장비 내의 조명계에 장착되어 Wafer면에 정해진 양의 노광 光이 조사되도록 수은 램프 광을 투광 또는 차광하는 기능 수행 물품으로 AC Servo Motor부, Connector부, Shutter 날개부로 구성된 Unit - (규격) 가로 550㎜, 세로 ...

- 관세율표 제8486호에는 “반도체 보울(boule)이나 웨이퍼(wafer)·반도체 디바이스·전자집적회로·평판디스플레이의 제조에 전용되거나 주로 사용되는 기계와 기기, 이 류의 주 제11호다목에서 특정한 기계와 기기, 그 부분품과 부속품”이 분류되고 ∙ 같은 호 해설서에서 “이 호에는 반도체 보울(boule...