Apparatus for rapid heating of semiconductor wafers ; Rapid Thermal Process ; YIT-4061 ; R.KOREA
결정기관
관세평가분류원
문서번호
0072017006715
이미지
물품설명
- LED Chip용 사파이어 Wafer상에 투명전도막(ITO)을 접합 및 경화하기 위해 Wafer 위에 있는 ITO를 균일하게 열처리 하는 기기로, 할로겐 램프를 이용하여 Chamber내에 있는 웨이퍼에 300°~500°C의 열을 가하는 기능을 수행(초당 50°C) - 주요 구성요소 및 기능 ·TM(Tran...
결정이유
ㅇ 관세율표 제8486호에는 “반도체 보울(boule)이나 웨이퍼(wafer)·반도체디바이스·전자집적회로·평판디스플레이의 제조에 전용되거나 주로 사용되는 기계와 기기, 이 류의 주 제9호다목에서 특정한 기계와 기기, 그 부분품과 부속품”이 분류되고, 소호 제8486.20호에는 “반도체디바이스나 전자집적회로 제...
