Main Shutter Unit; BM3-6858-000; 580㎜×410㎜×320㎜; JP;

- 반도체용 노광장비인 FPA-5550IZ 장비 내의 조명계에 장착되어 수은 램프 광의 통과·차단하는 기능을 수행하며 노광작업을 하지 않을 시 수은램프 광을 차단하여 수은 램프 광으로 인한 열의 영향으로부터 노광 Shutter를 보호함(수은램프는 영구적으로 켜져 있음) - 주요 구성요소 및 기능 ∙ Plus ...

- 관세율표 제8486호에는 “반도체 보울(boule)이나 웨이퍼(wafer)·반도체 디바이스·전자집적회로·평판디스플레이의 제조에 전용되거나 주로 사용되는 기계와 기기, 이 류의 주 제11호다목에서 특정한 기계와 기기, 그 부분품과 부속품”이 분류되고 ∙ 같은 호 해설서에서 “이 호에는 반도체 보울(boule...