Parts of machines and apparatus for making semiconductor devices ; SHIELD DEPO G40 FC2-PWS..R&D ; JAPAN
결정기관
관세평가분류원
문서번호
0072017007894
이미지
물품설명
반도체 건식 플라즈마 식각 장비의 챔버 하부의 외벽에 장착되는 링 형상의 부품으로한쪽 면의 빈 공간을 통해 웨이퍼가 반입·반출되며, 웨이퍼 식각시 발생한 파티클이 본 품의 안쪽 코팅면에 부착되어 챔버 내 파티클을 감소시키는 역할을 함 - 재질 : 본체(알루미늄, A5052), 안쪽 면(산화이트륨, Y203),...
결정이유
ㅇ 관세율표 제16부 주 제2호 나목에서 “기계의 부분품으로서 특정한 기계 또는 동일한 호에 분류되는 여러 종류의 기계(제8479호 또는 제8543호의 기계를 포함한다)에 전용 또는 주로 사용되는 부분품은 그 기계가 속하는 호에 분류한다.”라고 규정하고 있음 ㅇ 같은 표 제84류 주 제9호 라목에서는 “제16...
