Parts of machines and apparatus for making semiconductor devices ; PLATE, COOLING..AD2-075 ; JAPAN
결정기관
관세평가분류원
문서번호
0072017007893
이미지
물품설명
원상의 알루미늄 본체에 다수의 홈과 내부에 유로가 형성되어 있는 부품으로, 반도체 건식 플라즈마 식각 장비의 챔버 상부에 장착되어 내부로 유입되는 가스의 이동 통로 역할 및 냉매제를 순환시켜 챔버 내부 온도를 조절하는 역할을 함 - 규격 : 외경 450.6mm, 두께 51.7mm
결정이유
ㅇ 관세율표 제16부 주 제2호 나목에서 “기계의 부분품으로서 특정한 기계 또는 동일한 호에 분류되는 여러 종류의 기계(제8479호 또는 제8543호의 기계를 포함한다)에 전용 또는 주로 사용되는 부분품은 그 기계가 속하는 호에 분류한다.”라고 규정하고 있음 ㅇ 같은 표 제84류 주 제9호 라목에서는 “제16...
