품목분류사례
Electron Beam Microscopes fitted with equipment specifically designed for handling and transport of semiconductor wafers or reticles LEO 1560
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이미지 준비중물품설명
ㅇ 기능 및 용도 - 반도체제조공정중 웨이퍼상에 형성된 패턴의 불량분석 작업에 사용되는 고배율 전자현미경 - 전자총을 이용하여 가속전압을 발생시켜 샘플에서 발생하는 2차 전자를 받아 샘플의 표면을 표시하는 장비 ① Main Unit : 전자빔을 이용하여 샘플을 관찰하는 전자현미경 ② Air Lock Unit...
결정이유
ㅇ 제9012호의 용어는“광학현미경외의 현미경과 회절기기”로 규정되어 있고 ㅇ 제9012호해설서(A)에는 전자현미경의 표준형으로 ①전자빔사용 ②전자방출과 가속장치(전자총) ③집광기, 대물경 및 투영기로 작용하는 정전식 또는 전자식의 렌즈 ④시료재물대, ⑤상을 형광스크린에 반영시켜 육안으로 관측 및 사진으로 기...