품목분류사례
Instrument and apparatus for measuring or checking electrical quantities ; EPD ; End Point Detection System ; EPO-222 MPM
이미지
이미지 준비중물품설명
ㅇ 기능 및 용도 - EDP시스템 본체로 CMP설비패널부에 장착하거나 별도설치되는 Multi Process Monitor와 - CMP설비 내의 연마테이블인 턴테이블에 연결된 서보드라이버에 부착하여 회전하는 서보드라이버의 전류치를 감지하는 Electrical Current Sensor로 구성된 것으로 - Pol...
결정이유
결정세번 : 기록장치가 없는 것은 HSK9030.39-9000호에 분류하고 기록장치를 갖춘 것은 HSK9030.83-0000호에 분류한다. ㅇ 제9030호의 용어는“전기적 량의 측정 또는 검사용의 기기”로 규정되어 있고 ㅇ 제9030호의 용어“전기적량”에 대하여 제9030호해설서(B)전압 또는 전류를, 제90...