미완성 건식 식각기 ; EMAX Chamber with Std. Accessary(Centura 5200)

□ 기능 및 용도 : 기존 식각기의 Up-grade를 위하여 주요부품이 수입됨, 식각기는 웨이퍼에 회로패턴을 형성하기 위해 반응성가스를 진공 Chamber내에 주입하고 RF 파워를 인가하여 플라즈마를 형성시켜 웨이퍼상의 산화 절연막을 물리적 또는 화학적 작용에 의해 선택적으로 제거하는 기기임 □ 완성품 대비 ...

결정세번 : 완성품이 아니므로 각각 당해 호에 분류한다. 통칙2가에서 각호에 게기된 물품에는 본질적인 특성을 지니고 있는 불완전 물품이 포함되는 것으로 규정하고 있음 제8456.91호 해설서에서 건식에칭기는 일반적으로 한개 이상의 반응실, 펌프, 진공펌프, 무선주파 발생기, 기체의 흐름을 조정하는 기기, 공정...