품목분류사례
Gas or smoke analysis apparatus ; ①Condensation Nucleus Counter ; CNC1104, 1101 ②Surface Particle Detector ; QⅢ
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이미지 준비중물품설명
① 반도체 프로세스내의 파티클을 알코올(부탄올)이 있는 쳄버로 이동, 이를 기화시켜 알콜이 파티클을 감싸도록 한 후 이를 응축 시켜 파티클을 일정크기로 확대(성장)시켜 측정하는 기기로 이는 일반적인 Particle Counter가 0.01㎛를 측정하기 어려우므로 일정크기로 확대(성장)하여 측정하기 위한 원리임...
결정이유
ㅇ 본 품은 청정실내의 공기를 알코올(부탄올)이 있는 쳄버로 이동시킨 후 이를 기화, 응축시켜 공기중 파티클에 레이저를 방사하여 이를 별도의 지시계 및 컴퓨터에 측정신호를 전달하는 기기로 ㅇ 제9027호해설서에는 가스중의 먼지(Dust)분석장치를 제9027.10호에 분류 ㅇ ②의 물품은 표시계{갯수/inch(...