Classic quartz etcher;PreformTower;S-407-43/43,USA

ㅇ autoflow controller,automatic cycle, twin chambers(combination for tubes, rods or overclads), up to 30 rods(carousel/spray), up to 12 starting tubes(fill/overflow), up to 4 120mmoverclads(fill/overflow), diameter up to 185mm, two chemical holding tanks S-417형 등으로 구성됨 ㅇ Preform Tower는 광섬유를 제조하는데 사용되는 원료인 tube(석영유리제품)와 그 tube로 제조된 preform(석영유리 봉)을 내부에 설치된 spraybar 등을 이용하여 자동으로 세척 (세정)과 건조를 하는 설비 ㅇ 세척을 위해서 불산(HF)과 DI Water(초 순수물)를 사용하며 tube/preform(rod)의 내외부를 세척하여 먼지, 불순물을 제거 하고 1회의 세척으로 tube 6개와 rod(preform) 6개를 세정할 수 있음 ㅇ 두 개의 세척공간 중 tube 용은 하부의 노즐에서 뿜어올리는 세척수를 이용 넘쳐흐르는 방식으로, rod 용은 spray 노즐에 서 세척수를 분사하는 방식으로 세척하며 최소 40psi(lb/inch2) 분사압력이 작용함 ㅇ 세척 순서 - tube/rod를 preform tower에 장착 - 프로그램을 선택 - run switch를 눌러 가동 - 초순수물로 cabinet(preform tower)/tube/rod를 prerinse실시 - 불산으로 tube/rod의 내부/외부를 세척하여 먼지, 불순물 등 을 제거하고 표면은 etching한다. - 초순수물로 rinse 실시 - 질소로 purge(dry) 한다.