품목분류사례
ACCELERATOR MODULE ; KIT, PM, FIELD, ACCEL, 650,1520 ; 4524301(1500,1510;E11095430)
이미지
이미지 준비중물품설명
□ 물품의 용도 ㅇ Accelerator Module은 이온을 가속시키는 기능을 수행하는 물품으로서 이온주입기의 구성장비임. □ 주요 구성요소 및 기능 ㅇ Accelerator Column Ion beam을 실제로 가속시키는 곳으로서 650~750Kev의 에너지를 가해 Stripper Ar Gas와의 물리적인...
결정이유
ㅇ 이온주입기는 크게 이온을 발생시키는 Terminal(Source) Module, 이온을 가속시키는 Accelerator Module, 이온이 최종적으로 Wafer에 주입되는 End Station Module등으로 구성된 기계로서, ㅇ 이온주입기를 구성하는 각각의 기계(기기)들이 별도로 제시되는 경우에는 관...