품목분류사례
Light Source ; Parts for Coater Developer System
이미지
이미지 준비중물품설명
구성 및 기능 - 반도체 제조용 도포·현상기를 구성하는 WEE(Wafer Edge Exposure) Unit의 광원발생 장치(Light Source)인 Lamp House 부분으로로서 반사거울, 램프홀더(수은램프), 조리개, 셔터 등으로 구성되어 있음 - Light Source에서 생성된 빛은 반사거울을 통해...
결정이유
ㅇ 쟁점물품은 반도체 제조공정 중 Wafer의 현상과정에서 불필요한 Particle을 제거하기 위하여 가장자리 부분에 빛을 조사하는 WEE Unit의 광원발생 장치로서 광원(수은램프)에서 만들어진 광을 집광해서 광 Fiber를 통해 WEE부분에 전달해 주는 기능을 수행하는 것으로, ㅇ 제16부 주1 타에서 "...